Нагрівач для випікання елементів електронного променя

Tue, 09 Jun 2026 00:57:34 +0800

На площі літографії піч для запікання електронно-променевого резиста – це не просто прогрівання. Це контрольна точка для управління шириною ліній. Зсув температури на 0,3°C може призвести до нахилених бокових стінок. Холодна зона може залишити плівку, і це проявиться пізніше у вигляді підйому при прояві. Ми розробили нагрівач для запікання електронно-променевого резиста, який працює в такій реальності — утримуючи температуру там, де це потрібно процесу, а не там, де нагрівач сам вирішує стабілізуватися.

Що має значення з технічної точки зору.
Ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні елементи, розміщені у кварцовому тепловому шляху, тому нагрівання відбувається швидко і без забруднень. По всій пластині однорідність підтримується в межах ±0,1°C, а стабільність у точці заданої температури — нижче за ±0,05°C після виходу на постійний режим запікання. Система досягає температури запікання за секунди, що дозволяє скоротити час простою між партіями без перевищення теплового бюджету для фоторезиста.
Повторюваність температури відстежується окремо за рецептом, за інструментом і за добу, що дає змогу безпосередньо пов’язати історію запікання з показниками критичного розміру (CD). Гаряча зона сконструйована для чистих приміщень класу 1–100, з матеріалів і поверхонь, які мінімізують утворення частинок і спрощують очищення.

Е on Immediate Infrared Heating Solutions

Нагрівач для випікання елементів електронного променя