На поверхні пластини при літографуванні достатньо лише напівградусної похибки в параметрах процесу Soft Bake, щоб порушити точний контроль над...

На виробничій лінії навіть незначне зміщення температури на рівні 0,2°C під час процесу випалювання фоторезисту може серйозно вплинути на якість...