Litografi işlemlerinde, “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” işlemleri sadece “ısısal adımlar” değildir. Bunlar, desenin doğruluğu ile istenmeyen...

Lithografi katında, bir e-beam rezist pişirme işlemi basit bir ısınma süreci değildir. Bu, kenar genişliği kontrolünün kapı bekçisidir. 0.3°C’lik bir...