Нагреватель для запекания e бим резиста

Tue, 09 Jun 2026 00:57:34 +0800

На литографическом участке выпекание электронно-лучевого резиста — это не просто прогрев. Это ключевой фактор контроля ширины линий. Отклонение на 0,3°C может привести к наклонной боковой стенке. Холодная зона оставит пленку, которая позже проявится как приподнимание резиста при проявке. Мы разработали нагреватель для выпекания электронно-лучевого резиста с учётом этой реальности — удерживая температуру там, где это нужно процессу, а не там, где нагреватель «решит» стабилизироваться.

Что важно технически.
Мы используем элементы коротковолнового инфракрасного излучения, передающие тепло через кварцевый теплопроводящий путь, что обеспечивает быстрый и чистый нагрев. По площади подложки равномерность поддерживается в пределах ±0,1°C, а стабильность установки — лучше ±0,05°C при установившемся режиме выпечки. Система достигает температуры выпекания за считанные секунды, что сокращает время простоя между партиями без превышения теплового бюджета фоторезиста.

Сопротивляться on Immediate Infrared Heating Solutions

Нагреватель для запекания e бим резиста