Решение для отопления фабрики по производству пластмасс

Sun, 07 Jun 2026 01:15:47 +0800

На производственном участке смещение температуры не сигнализирует индикатором. Оно проявляется как смещение CD после мягкой запекалки, как изменение основания профиля после жёсткой запекалки и как брак, который обнаруживается только после того, как партия уже прошла через фоторазработку и временной технологический цикл. Терморегуляция на уровне пластины — это не «приятная опция». Это часть технологического бюджета.

Что технически важно
Мы построили систему обогрева завода вокруг модулей ближнего и среднего инфракрасного диапазона, разработанных с учётом требований термодисциплины полупроводникового производства. Цель — ±0,1°C равномерность температуры по всей пластине, включая держатель и слой фотоresиста. Система работает в чистых помещениях класса 1–100, при этом подтверждена нулевая генерация частиц по данным мониторинга в реальном времени и последующих проверок дефектов.

Решение on Immediate Infrared Heating Solutions

Решение для отопления фабрики по производству пластмасс