Инфракрасный нагреватель для проявителя покрытия

Mon, 01 Jun 2026 17:44:35 +0800

На литографическом этаже смещение температуры мягкой сушки на 1°C приведёт к изменению критического размера. Это проявится как вариация ширины линий по пластине — и именно так вы потеряете часы технологического процесса.
Инфракрасный нагреватель в установках коутера/проявителя является термическим ядром обработки фоторезиста: мягкая сушка, твёрдая сушка и сушка. Если тепловое распределение нарушается, падает выход годных изделий.

Технически важные моменты

Мы создаём эти инфракрасные нагреватели на основе коротковолновых источников, которые быстро реагируют, нагревая через толщину, так что температура стабилизируется за секунды, а не минуты. По всей поверхности сушки равномерность на уровне пластины удерживается в пределах ±0.1°C, что снижает локальные отклонения по критическому размеру и толщине.
Корпус совместим с чистыми помещениями классов от Class 1 до Class 100. Материалы с низкой газовыделяемостью и контролируемый путь движения частиц предотвращают попадание загрязнений в камеру процесса. Отсутствие генерации частиц — это не лозунг, а конструктивное требование, обеспечиваемое качеством поверхности, герметизацией и маршрутизацией воздушных потоков.

Разработчик on Immediate Infrared Heating Solutions

Инфракрасный нагреватель для проявителя покрытия

Технически важные моменты