Lâmpada de secagem de fotoresist
No processo de litografia, os passos de secagem a calor suave e intenso não são simplesmente “etapas térmicas”. Na verdade, eles representam um...
Aquecedor de cocção para resist e beam
No piso de litografia, a secagem do resist e-beam não é um simples aquecimento. É o guardião do controle da largura de linha. Um desvio de 0,3°C pode...