http://ir-heater-now.com/nl/tags/fotoreductor/ Recent content in Fotoreductor on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo nl Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/nl/posts/photoresist-baking-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/nl/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Fotoresterovenslamp"></p> <p>Op de lithografieafdeling zijn de processen ‘zachte verhitting’ en ‘harde verhitting’ geen gewone thermische stappen. Het gaat om grenzen die bepalen of het patroon nauwkeurig wordt weergegeven, of dat er een herwerkingsproces nodig is – iets wat je natuurlijk wilt voorkomen. Fotoresistent is gevoelig voor temperatuurschommelingen; kleine afwijkingen kunnen tot grote problemen leiden. Eén of twee graden verschil, of een hotspot op het chipje, kan al zorgen voor problemen met de controle van de CD-structuur.</p> <p><strong>Wat technisch gezien belangrijk is</strong> We gebruiken korte-golfhalogeenlampen in een kwartsomhulsel. Hierdoor ontstaat snelle, droge hitte met minimale concentratie aan deeltjes. De belangrijkste parameter is de temperatuurnauwkeurigheid over het hele chipje: ±0,1°C. De herhaalbaarheid moet ook binnen deze marge blijven, zodat elke verhittingscyclus hetzelfde resultaat oplevert als de vorige.</p>