http://ir-heater-now.com/ms/tags/tumbuhan/ Recent content in Tumbuhan on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ms Sun, 07 Jun 2026 01:15:47 +0800 http://ir-heater-now.com/ms/posts/fab-plant-heating-solution/ Sun, 07 Jun 2026 01:15:47 +0800 http://ir-heater-now.com/ms/posts/fab-plant-heating-solution/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Penyelesaian pemanasan kilang pembuatan cip"></p> <p>Pada lantai kilang, pergeseran suhu tidak menunjukkan amaran dalam bentuk lampu amaran. Ia muncul sebagai pergeseran CD selepas proses soft bake, sebagai ketidakseragaman profil selepas hard bake, dan sebagai bahan terbuang yang hanya terlihat selepas lot telah menembusi photoresist dan masa proses. Kawalan terma tahap wafer bukanlah ciri tambahan. Ia adalah sebahagian daripada bajet proses.</p> <p><strong>Apa yang penting, secara teknikal</strong><br> Kami membina sistem pemanasan kilang berasaskan modul NIR dan inframerah gelombang sederhana yang direka khusus untuk disiplin terma semikonduktor. Sasaran adalah keseragaman suhu wafer pada ±0.1°C — merentasi chuck dan melalui lapisan photoresist. Sistem ini beroperasi dalam bilik <a href="https://goldisgood.com">bersih</a> Kelas 1–100, dan kami telah mengesahkan tiada penghasilan zarah melalui pemantauan in-situ dan pemeriksaan kecacatan hiliran.</p>