Penyelesaian pengeluaran fabrik yang mampan

Fri, 24 Jul 2026 09:02:21 +0800

Hentikan pembaziran masa: Mengapa anda perlu menggunakan sinar inframerah berbanding udara panas

Jika anda masih bergantung pada sistem udara panas untuk proses pemprosesan yang mendalam, sebenarnya anda sedang berjuang melawan waktu sendiri.

Fikirkan bagaimana cara kerja udara panas. Anda memanaskan udara terlebih dahulu, dan kemudian berharap udara tersebut dapat memanaskan wafer tersebut. Ia merupakan proses yang lambat dan tidak efisien. Terdapat juga kelewatan akibat masalah termal, yang seterusnya mengurangkan produktiviti anda.

Sinar inframerah pula berbeza. Ia menghilangkan keperluan untuk menggunakan udara sebagai penghantar haba. Sebaliknya, radiasi elektromagnetik digunakan untuk memanaskan wafer secara langsung. Ini merupakan cara yang lebih cepat.

Penyelesaian pemanasan kilang pembuatan cip

Sun, 07 Jun 2026 01:15:47 +0800

Pada lantai kilang, pergeseran suhu tidak menunjukkan amaran dalam bentuk lampu amaran. Ia muncul sebagai pergeseran CD selepas proses soft bake, sebagai ketidakseragaman profil selepas hard bake, dan sebagai bahan terbuang yang hanya terlihat selepas lot telah menembusi photoresist dan masa proses. Kawalan terma tahap wafer bukanlah ciri tambahan. Ia adalah sebahagian daripada bajet proses.

Apa yang penting, secara teknikal
Kami membina sistem pemanasan kilang berasaskan modul NIR dan inframerah gelombang sederhana yang direka khusus untuk disiplin terma semikonduktor. Sasaran adalah keseragaman suhu wafer pada ±0.1°C — merentasi chuck dan melalui lapisan photoresist. Sistem ini beroperasi dalam bilik bersih Kelas 1–100, dan kami telah mengesahkan tiada penghasilan zarah melalui pemantauan in-situ dan pemeriksaan kecacatan hiliran.

Penyelesaian on Immediate Infrared Heating Solutions

Penyelesaian pengeluaran fabrik yang mampan

Hentikan pembaziran masa: Mengapa anda perlu menggunakan sinar inframerah berbanding udara panas

Penyelesaian pemanasan kilang pembuatan cip