Pemancar inframerah jenis kuarsa halogen
Di lantai litografi, perubahan suhu sebanyak setengah darjah dalam profil Soft Bake sudah cukup untuk mengganggu kawalan dimensi yang tepat....
Lampu halogen untuk sistem RTP
Di bilik pemprosesan yang canggih ini, perubahan suhu sebanyak 0.2°C pada wafer semasa proses pembakaran bahan photoresist boleh mengurangkan kualiti...