Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Mengeringkan wafer sensor MEMS merupakan proses yang memerlukan kehati-hatian yang tinggi. Cecair pembersih perlu dihilangkan dengan cepat, tetapi jika tidak berhati-hati, ia boleh menyebabkan kewujudan bintik-bintik air pada permukaan wafer, atau lebih teruk lagi, tekanan mekanikal yang boleh merosakkan keseluruhan wafer tersebut.
Itulah sebabnya kami menggunakan pemanas inframerah yang direka khusus untuk tujuan ini. Pemanas ini bertujuan untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung, sekaligus menghilangkan kelembapan sebelum tegangan permukaan sempat menyatukan struktur halus pada wafer tersebut.
Kekuatan haba yang digunakan
Kami menggunakan kekuatan haba yang tinggi setiap inci panjang. Mengapa? Kerana kita ingin wafer tersebut mencapai suhu penguapan dalam masa beberapa saat sahaja, bukan minit-minit. Jika proses pengeringan berlangsung terlalu lama, ia akan membuka peluang kepada kotoran untuk masuk ke dalam wafer tersebut.
Namun, kekuatan haba yang tinggi juga boleh menjadi masalah. Kita perlu berhati-hati ketika menyesuaikan suhu tersebut. Jika suhu dinaikkan terlalu cepat, membran nipis pada sensor tersebut akan retak. Semuanya bergantung pada cara pengawalan suhu tersebut.
Kuarsa dan masalah “sampah”
Untuk memastikan kestabilan, kami menggunakan kuarsa berkualiti tinggi untuk melindungi filamen tersebut. Ini merupakan cara tunggal untuk menghadapi perubahan suhu yang drastik tanpa menyebabkan wafer tersebut rosak.
Kami juga melapisi filamen tersebut. Ini membolehkan tenaga haba disalurkan secara tepat ke permukaan wafer, bukannya hanya memanaskan dinding bilik tersebut. Selain itu, kami menggunakan sambungan standard, jadi apabila tiba masa untuk penyelenggaraan, ia mudah diganti dan operasi dapat diteruskan.
Tiada ruang untuk kesilapan
Dalam bilik bersih, satu saja percikan elektrik boleh merosakkan keseluruhan wafer tersebut. Oleh sebab itu, kami tidak boleh mengambil risiko. Setiap pemanas yang kami hantar harus menjalani ujian ketahanan dielektrik dan rintangan isolasi sebanyak 100%. Kami juga memastikan voltan yang digunakan tidak melebihi had yang ditetapkan, supaya tiada kebocoran berlaku. Kegagalan semasa penggunaan merupakan perkara yang tidak boleh diterima.
Satu lagi tip: pastikan bekalan kuasa yang digunakan sesuai dengan impedans pemanas tersebut. Jika tidak, prestasi pemanas akan terjejas, atau filamen tersebut akan rosak dengan cepat.