http://ir-heater-now.com/ko/tags/%ED%95%A0%EB%A1%9C%EA%B2%90/ Recent content in 할로겐 on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 03:01:41 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ Fri, 03 Jul 2026 03:01:41 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="쿼츠 할로겐 적외선 방출기"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정에서의 약 반도의 온도 변화만으로도 치명적인 오류가 발생할 수 있습니다. 포토레지스트 내의 용매 제거 과정도 일관성을 잃게 되고, 그 결과 하드 베이크 과정에서 그러한 오류가 고착됩니다. 웨이퍼 전체의 온도 균일성은 단순한 장점이 아니라, 이 공정의 핵심입니다.</p> http://ir-heater-now.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Sat, 20 Jun 2026 01:57:12 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="RTP 시스템용 할로겐 램프"></p> <p>팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 웨이퍼의 온도가 0.2°C만큼 변동될 수 있습니다. 이러한 미세한 온도 변동은 웨이퍼의 품질과 수율에 악영향을 미칩니다. RTP 시스템에서는 해당 램프가 단순한 열원일 뿐만 아니라, 온도의 균일성과 반복성을 결정하는 핵심 요소입니다.</p>