http://ir-heater-now.com/ko/tags/%EC%A7%84%EA%B3%B5/ Recent content in 진공 on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ko Sun, 19 Jul 2026 08:38:15 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Sun, 19 Jul 2026 08:38:15 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="진공 챔버용 적외선 히터"></p> <p>스마트 팩토리에서 적외선 기술을 효과적으로 활용하는 방법<br> 만약 인더스트리 4.0을 구축하고 있다면, 이제는 기존의 가열 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 데이터와 연동할 수 있는 방법이 필요합니다.<br> 진공 상태에서는 공기를 이용해 열을 전달할 수 없습니다. 그래서 우리는 적외선 기술을 사용합니다. 이 방식은 훨씬 간단합니다. 열이 직접 소스에서 기판으로 전달되기 때문입니다. 중간 단계가 없죠.</p> http://ir-heater-now.com/ko/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ Sat, 27 Jun 2026 01:20:36 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="레이볼드 진공 히터 부품"></p> <p>생산 과정에서는 부드러운 건조 과정에서 온도가 0.2°C 정도 변동하게 되고, 이로 인해 포토레지스트의 성능이 달라집니다. 그 결과, 웨이퍼 전체의 온도 균일성이 떨어지고, 재작업도 많아집니다. 리소그래피 공정에서는 열적 안정성이 단순히 선호사항이 아니라, 반드시 충족되어야 하는 필수 조건입니다.</p> http://ir-heater-now.com/ko/posts/vacuum-oven-heating-element-fab/ Fri, 05 Jun 2026 01:17:51 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/vacuum-oven-heating-element-fab/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="진공 오븐 가열 요소 제조"></p> <h1 id="공정-현장에서의-포토레지스트-베이크">공정 현장에서의 포토레지스트 베이크</h1> <p>포토레지스트 베이크는 단순한 열처리 단계가 아니라 치수 제어입니다. 소프트 베이크 및 하드 베이크 온도가 1도라도 이동하면 중요한 치수가 변화하고, 반사율이 이동하며, 전체 로트의 수율이 감소합니다. 진공 오븐에서는 상황이 더 악화됩니다. 저압 환경을 통해 열을 이동시키기 때문에 핫 스팟이나 콜드 존에서 숨을 곳이 없습니다.</p>