http://ir-heater-now.com/ko/tags/%EC%8B%9C%EC%8A%A4%ED%85%9C/ Recent content in 시스템 on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ko Sat, 20 Jun 2026 01:57:12 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Sat, 20 Jun 2026 01:57:12 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="RTP 시스템용 할로겐 램프"></p> <p>팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 웨이퍼의 온도가 0.2°C만큼 변동될 수 있습니다. 이러한 미세한 온도 변동은 웨이퍼의 품질과 수율에 악영향을 미칩니다. RTP 시스템에서는 해당 램프가 단순한 열원일 뿐만 아니라, 온도의 균일성과 반복성을 결정하는 핵심 요소입니다.</p>