http://ir-heater-now.com/ko/tags/%EB%B9%94/ Recent content in 빔 on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ko Tue, 09 Jun 2026 00:57:34 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Tue, 09 Jun 2026 00:57:34 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="E 빔 레지스트 베이킹 히터"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>리소그래피 작업장에서 전자빔(e-beam) 레지스트 베이크는 단순한 예열 과정이 아니다. 이는 라인폭 제어의 관문이다. 0.3°C의 온도 변동만으로도 경사면의 사이드월이 인쇄될 수 있다. 차가운 부분은 필름이 남게 하며, 이는 이후 현상 시 리프트 현상으로 나타난다. 당사는 이러한 현실을 반영하여, 공정이 필요한 지점에서 정확히 온도를 유지하도록 설계된 e-beam 레지스트 베이킹 히터를 개발했다. 히터가 스스로 위치를 결정하는 곳이 아닌, 공정이 요구하는 지점에서 온도를 고정한다.</p>