http://ir-heater-now.com/ko/tags/%EB%A0%88%EC%9D%B4%EB%B3%BC%EB%93%9C/ Recent content in 레이볼드 on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ko Sat, 27 Jun 2026 01:20:36 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ Sat, 27 Jun 2026 01:20:36 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="레이볼드 진공 히터 부품"></p> <p>생산 과정에서는 부드러운 건조 과정에서 온도가 0.2°C 정도 변동하게 되고, 이로 인해 포토레지스트의 성능이 달라집니다. 그 결과, 웨이퍼 전체의 온도 균일성이 떨어지고, 재작업도 많아집니다. 리소그래피 공정에서는 열적 안정성이 단순히 선호사항이 아니라, 반드시 충족되어야 하는 필수 조건입니다.</p>