http://ir-heater-now.com/ko/tags/%EA%B4%91%EA%B0%90%EC%A7%80%EC%A0%9C/ Recent content in 광감지제 on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ko Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/photoresist-baking-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="포토레지스트 건조 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’는 단순한 ‘열처리 과정’에 불과한 것이 아닙니다. 이는 패턴의 정확도와 불필요한 재작업 사이의 경계선입니다. 포토레지스트는 매우 섬세한 물질이기 때문에, 온도 변화에 매우 민감합니다. 온도가 1~2도만 벗어나거나 웨이퍼 위에 열점이 생기면 CD의 정밀도가 떨어집니다.</p>