http://ir-heater-now.com/ko/tags/%EA%B0%9C%EB%B0%9C%EC%9E%90/ Recent content in 개발자 on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 17:44:35 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ Mon, 01 Jun 2026 17:44:35 +0800 http://ir-heater-now.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="코터 개발기 적외선 히터"></p> <p>리소그래피 라인에서는 소프트 베이크 온도가 1°C만 변해도 크리티컬 디멘션(CD) 바이어스가 발생합니다. 이는 웨이퍼 전반에 걸친 라인 폭 변동으로 나타나며, 이로 인해 수시간의 공정 작업이 폐기됩니다.<br> 코터/디벨로퍼 IR 히터는 포토레지스트 처리의 열적 핵심입니다: 소프트 베이크, 하드 베이크, 그리고 건조 단계에서 작동합니다. 열 균일성이 흐트러지면 수율도 떨어집니다.</p>