省エネ型半導体ヒーター

Thu, 23 Jul 2026 09:29:59 +0800

なぜ半導体の乾燥に赤外線を使用するようにしたのか？業界では「グリーン」でハロゲンフリーな製品が求められています。それは良いことですが、ウェーハをどのように乾燥させるかという点で大きなプレッシャーがかかっています。長年にわたり、私たちは対流オーブンを利用してきました。しかし問題は、大量の空気を加熱してわずかなエネルギーをウェーハに与えるという点です。これは明らかにエネルギーの無駄遣いです。そのため、私たちは赤外線を利用する方法に切り替えました。対流オーブンとは異なり、赤外線は電磁波を使って直接基板に熱を与えます。 これは効率の問題です。 考えてみてください。赤外線は中間媒体を必要としません。機械の本体や周囲の空気を温めるために何キロワット時ものエネルギーを消費する必要はありません。エネルギーは直接製品に届きます。その結果、数秒で所定の温度に到達します。数分ではなく、秒単位です。これにより、クリーンルームがサウナのようになるのを防ぎ、エネルギー代の急増も避けられます。 ハロゲンフリー材料の扱い ハロゲンフリーのはんだや接着剤には特徴があります。通常、従来のハロゲン含有の材料よりも高い温度が必要であり、温度管理も厳しくなります。対流オーブンを使用すると、特定の部分を十分に温めるために、全体のボードが過熱してしまいます。これは非効率的です。赤外線を使用すれば、波長を調整して、半導体パッケージの特定の層に熱を与えることができます。敏感な部品に負担をかけることなく、正確に必要な場所に熱を与えることができます。これはずっと効率的な方法です。 デメリットとその解決策 ただし、赤外線も魔法ではありません。方向性があります。部品の形状が複雑で深い凹みがある場合、「シャドウイング」という問題が発生します。つまり、一部の領域が光を受けられず、十分な熱が得られないのです。単に設定しておくだけでは不十分です。反射器の角度を調整したり、複数のランプを使って均一に熱を与える必要があります。 まとめ 赤外線を利用することで、以前使っていた有害な化学溶剤を使わなくて済みます。既存のシステムにも簡単に統合でき、工程がスムーズになります。電気代も削減でき、環境監査もスムーズに進み、作業もよりスムーズに行えます。

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