石英 on Immediate Infrared Heating Solutions

ファブレーザー用クォーツガラスシールド

Wed, 22 Jul 2026 02:20:13 +0800

クォーツシールドを使って、ファブのランプの性能を最大限に引き出す方法
半導体ファブを運営している方ならご存知の通り、ウェーハの加熱や硬化にはIRヒーターが不可欠です。しかし、カーボンニュートラルを実現するためには、エネルギーがどこで無駄に消費されているかを把握する必要があります。
そこで役立つのがクォーツガラス製のシールドです。多くの人はそれを単なる保護用のカバーと思っていますが、実際には、どれだけのエネルギーがウェーハに届き、どれだけが部屋中に失われるかをコントロールする役割を果たします。

石英ハロゲン赤外線発信器

Fri, 03 Jul 2026 03:01:40 +0800

リソグラフィーの工程においては、ソフトベイクのプロファイルにわずか0.5度のずれがあるだけで、重要な寸法制御が狂ってしまいます。フォトレジスト中の溶剤の除去が不均一になり、その結果、ハードベイク時にそのエラーが固定されてしまいます。ウェーハ全体の温度均一性は特典ではなく、むしろ工程の基本条件です。

中波用石英ヒーターチューブ

Mon, 22 Jun 2026 18:56:55 +0800

製造現場では、よく知られている通り、焼成温度が半度でもずれるだけで、部品の寸法精度が悪化し、歩留まりも低下してしまいます。中波石英ヒーター管は、そのような温度のずれを防止するために設計されています。