http://ir-heater-now.com/ja/tags/%E7%9C%9F%E7%A9%BA/ Recent content in 真空 on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ja Sun, 19 Jul 2026 08:38:12 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Sun, 19 Jul 2026 08:38:12 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="真空チャンバー用赤外線ヒーター"></p> <p>スマートファブで赤外線を効果的に活用するには<br> もしIndustry 4.0対応の工場を構築しているのであれば、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことがお分かりでしょう。データと連携できるようなシステムが必要です。</p> http://ir-heater-now.com/ja/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ Sat, 27 Jun 2026 01:20:36 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ライボルド・真空ヒーターのスペア部品"></p> <p>生産工程においては、ソフトベイク時の温度が0.2°Cほど変動し、フォトレジストの特性も変わってしまいます。その結果、CDの均一性が低下し、再加工が必要となります。リソグラフィーにおいては、熱安定性は単なる好みではなく、プロセス上不可欠な要素です。</p> http://ir-heater-now.com/ja/posts/vacuum-oven-heating-element-fab/ Fri, 05 Jun 2026 01:17:51 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/vacuum-oven-heating-element-fab/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="真空オーブン加熱素子製造"></p> <h1 id="製造現場での真空オーブン加熱要素">製造現場での真空オーブン加熱要素</h1> <p>ファブフロアでは、フォトレジストの焼成は単なる加熱ステップではなく、寸法管理です。ソフトベークとハードベークの温度がわずかにずれるだけでも、<a href="https://o-yate.com">重要</a>な寸法が変わり、反射率がシフトし、ロット全体の歩留まりが低下します。真空オーブンでは状況が悪化します。低圧環境を通じて熱を移動させるため、ホットスポットやコールドゾーンから逃れることはできません。</p> <p><strong>内部で重要なこと</strong></p>