http://ir-heater-now.com/ja/tags/%E3%83%99%E3%83%BC%E3%82%AD%E3%83%B3%E3%82%B0/ Recent content in ベーキング on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="フォトレジスト焼成ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、「ソフトベイク」と「ハードベイク」というのは単なる「加熱処理」に過ぎません。これらは、パターンの精度を保つための重要な要素であり、再加工が必要になってしまうことを防ぐためのものです。フォトレジストは繊細な素材ですから、わずかな温度変動でも問題を引き起こします。数度程度の温度変動やウエハ上の部分的な過熱があるだけで、CDの精度が低下してしまいます。</p> http://ir-heater-now.com/ja/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Tue, 09 Jun 2026 00:57:34 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Eビームレジストベーキングヒーター"></p> <h1 id="リソグラフィフロアにおける電子線レジストのベークは単なる準備作業ではないこれはライン幅制御のゲートキーパーである03cの温度変動が傾斜したサイドウォールを印刷する原因となる冷たい箇所は膜残りを引き起こし後に現像剥離として現れる私たちの電子線レジストベーク用ヒーターはその現実を見据えて設計されておりヒーターが設定する場所ではなくプロセスに要求される温度を維持する">リソグラフィフロアにおける電子線レジストのベークは単なる準備作業ではない。これはライン幅制御のゲートキーパーである。0.3°Cの温度変動が傾斜したサイドウォールを印刷する原因となる。冷たい箇所は膜残りを引き起こし、後に現像剥離として現れる。私たちの電子線レジストベーク用ヒーターはその現実を見据えて設計されており、ヒーターが設定する場所ではなく、プロセスに要求される温度を維持する。</h1> <p>技術的に重要なポイント。 短波長赤外線素子を石英系熱伝導路を通して運用しているため、熱は迅速かつクリーンである。ウェーハ全体の均一性は±0.1°C以内に保たれ、ベーク安定状態に入れば設定温度の安定性は±0.05°C以下で維持される。装置は数秒でベーク温度に到達するため、ロット間のアイドルタイムを削減しつつ、フォトレジストの熱予算を超過しない。</p>