http://ir-heater-now.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AC%E3%82%B8%E3%82%B9%E3%83%88/ Recent content in フォトレジスト on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="フォトレジスト焼成ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、「ソフトベイク」と「ハードベイク」というのは単なる「加熱処理」に過ぎません。これらは、パターンの精度を保つための重要な要素であり、再加工が必要になってしまうことを防ぐためのものです。フォトレジストは繊細な素材ですから、わずかな温度変動でも問題を引き起こします。数度程度の温度変動やウエハ上の部分的な過熱があるだけで、CDの精度が低下してしまいます。</p>