http://ir-heater-now.com/ja/tags/%E3%83%8F%E3%83%AD%E3%82%B2%E3%83%B3/ Recent content in ハロゲン on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 03:01:40 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ Fri, 03 Jul 2026 03:01:40 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="石英ハロゲン赤外線発信器"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、ソフトベイクのプロファイルにわずか0.5度のずれがあるだけで、重要な寸法制御が狂ってしまいます。フォトレジスト中の溶剤の除去が不均一になり、その結果、ハードベイク時にそのエラーが固定されてしまいます。ウェーハ全体の温度均一性は特典ではなく、むしろ工程の基本条件です。</p> http://ir-heater-now.com/ja/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Sat, 20 Jun 2026 01:57:12 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="RTPシステム用ハロゲンランプ"></p> <p>ファブの現場では、フォトレジストの焼成時にウェーハ表面で0.2℃もの温度変動が生じると、ウェーハの均一性や歩留まりが低下してしまいます。RTPでは、そのランプは単なる熱源に過ぎず、むしろ熱的な均一性や<a href="https://o-yate.com">再現性</a>を決定づける重要な要素です。</p>