http://ir-heater-now.com/ja/tags/%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%BF%E3%83%BC/ Recent content in コーター on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 17:44:35 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ Mon, 01 Jun 2026 17:44:35 +0800 http://ir-heater-now.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="コーター用開発赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィ工程では、ソフトベイクの温度が1℃変動すると、クリティカルディメンション（CD）バイアスが移動します。これがウェハ全体の線幅変動として現れ、数時間に及ぶ工程作業が無駄になります。<br> コーター／デベロッパー用IRヒーターは、フォトレジスト処理の熱源の<a href="https://o-yate.net">中心</a>です：ソフトベイク、ハードベイク、乾燥工程。熱均一性が乱れると、歩留まりに直結します。</p>