Lampada a halogeni per sistema RTP

Sat, 20 Jun 2026 01:57:12 +0800

Nelle linee di produzione, una variazione di temperatura di 0,2°C durante la fase di essiccazione del fotoresist può influire negativamente sulla qualità dei prodotti ottenuti. Nei sistemi RTP, la lampada non è soltanto una sorgente di calore: rappresenta inoltre l’elemento chiave per garantire uniformità termica e ripetibilità nei processi di produzione.

Noi produciamo lampade ad azoto per i sistemi RTP, caratterizzate da un preciso controllo dello spettro luminoso e da una rapida risposta. La geometria del filamento, l’involucro in quarzo e il riflettore sono tutti progettati per creare una zona di riscaldamento stabile, in modo che l’uniformità termica rimanga entro i valori di ±0,1°C. La temperatura di uscita della lampada rimane costante anche dopo migliaia di cicli di funzionamento, quindi il budget termico richiesto per i processi di litografia non cambia da lote a lote. L’assemblaggio delle lampade avviene in ambienti puliti, utilizzando materiali con basso livello di emissione di gas e componenti progettati per ridurre al minimo la presenza di particelle, elementi che potrebbero compromettere i processi di litografia.

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Lampada a halogeni per sistema RTP