Sovraccarico a risposta rapida per lampada riscaldante a infrarossi

Fri, 19 Jun 2026 02:09:03 +0800

Nelle linee di produzione, la deriva termica durante il processo di essiccazione dei wafer non rappresenta soltanto un ostacolo: essa influisce negativamente sulle dimensioni critiche dei wafer e lascia residui che causano una riduzione della qualità del prodotto finito. Per ovviare a questo problema, abbiamo sviluppato dei riscaldatori a infrarossi ad alta velocità, in grado di eliminare tali derivate fin dalla loro origine.

Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Utilizziamo elementi riscaldanti a infrarossi a lunghezza d’onda corta, inseriti in involucri di quarzo. In questo modo si ottiene una elevata densità di radiazione, con tempi di risposta inferiori a un secondo. Nella zona attiva, l’uniformità della temperatura sui wafer rimane entro valori compresi tra ±0,1°C; inoltre, la ripetibilità del valore di temperatura richiesto rimane entro ±0,5°C dopo il periodo di riscaldamento. La potenza erogata rimane stabile, dal momento iniziale fino allo stato di equilibrio; non ci sono zone calde che possano influenzare negativamente il flusso del fotorest. I nostri riscaldatori sono progettati per essere utilizzati in ambienti puliti di Classe 1–100: i materiali utilizzati permettono di minimizzare al massimo la generazione di particelle. Si può prevedere una durata operativa di oltre 5.000 ore, con una diminuzione della potenza erogata inferiore al 5%, anche in condizioni di funzionamento continuo.

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Sovraccarico a risposta rapida per lampada riscaldante a infrarossi