Pezzo di ricambio per riscaldatore a vuoto Leybold

Sat, 27 Jun 2026 01:20:36 +0800

Durante il processo di cottura, il profilo termico leggermente variabile di 0,2°C fa sì che il fotoresist funzioni in modo diverso. L’uniformità della superficie del wafer diminuisce, e aumentano i problemi legati alla necessità di riparazioni. Nella litografia, la stabilità termica non è una semplice preferenza: è una condizione essenziale per il corretto funzionamento del processo.

Ciò che conta davvero
Il riscaldatore per vuoto Leybold è dotato di elementi a infrarossi a breve lunghezza d’onda e di un sistema termico basato sul quarzo, che garantisce un’uniformità della temperatura su tutta la superficie interessata, entro valori compresi tra ±0,1°C. Il corpo del riscaldatore è progettato per assicurare l’integrità del vuoto, grazie a flange e terminali protetti che evitano la liberazione di gas e la formazione di particelle. La resistenza e la geometria del riscaldatore vengono selezionate in modo tale da mantenere costante la densità di potenza richiesta dalla camera, e quindi l’uniformità della temperatura entro i limiti consentiti dai fotoresist più avanzati.

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Pezzo di ricambio per riscaldatore a vuoto Leybold