Imballaggio per sensori intelligenti a infrarossi

Tue, 30 Jun 2026 01:30:31 +0800

Nelle linee di produzione per sensori intelligenti, le linee di confezionamento basate su sensori intelligenti non possono tollerare alcuna variazione termica. Un processo di cottura non perfetto, o un punto caldo durante il processo di cottura, può causare problemi già prima che la litografia abbia termine. Abbiamo creato una piattaforma termica a infrarossi per eliminare queste variazioni.

Cosa è importante sotto il profilo tecnico
Utilizziamo emettitori a infrarossi regolati in modo da coincidere con la banda di assorbimento del fotorestante; in questo modo il calore viene distribuito rapidamente e senza contatto diretto con il substrato. Nella zona di cottura, l’uniformità della temperatura sulle singole wafer è di ±0,1°C; inoltre, la ripetibilità dei risultati è garantita grazie alla utilizzo di sistemi di misurazione termica a circuito chiuso direttamente sul piano del substrato. Il corpo riscaldante è realizzato in quarzo e ceramica ad alta purezza, quindi non vengono generate particelle durante il funzionamento. La piattaforma può funzionare in ambienti puliti di classe 1–100, senza che aumenti il numero di particelle presenti nell’ambiente; inoltre, il profilo termico rimane costante da un lotto all’altro. La densità di potenza viene gestita in modo da rispettare i requisiti termici dei film sottili, mentre il tempo di risposta garantisce che il processo proceda senza interruzioni.

Imballaggio on Immediate Infrared Heating Solutions

Imballaggio per sensori intelligenti a infrarossi