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				<title>Riscaldatore per cottura del resist E beam</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://ir-heater-now.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png&#34; alt=&#34;Riscaldatore per cottura del resist E beam&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;h1 id=&#34;role&#34;&gt;Role&lt;/h1&gt;&#xA;&lt;p&gt;Sezione litografia, la cottura del resist a fascio elettronico non è un semplice riscaldamento iniziale. È il &lt;a href=&#34;https://o-yate.net&#34;&gt;fattore&lt;/a&gt; critico per il controllo delle dimensioni delle linewidth. Una deriva di 0,3°C può causare una parete laterale inclinata. Un punto freddo può lasciare residui di film, che si manifesteranno successivamente come sollevamento durante lo sviluppo. Il nostro riscaldatore per la cottura del resist a e-beam è progettato per operare in queste condizioni, mantenendo la temperatura dove il processo la richiede, non dove il riscaldatore tende a stabilizzarsi.&lt;/p&gt;</description>
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