http://ir-heater-now.com/id/tags/tanaman/ Recent content in Tanaman on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo id Sun, 07 Jun 2026 01:15:47 +0800 http://ir-heater-now.com/id/posts/fab-plant-heating-solution/ Sun, 07 Jun 2026 01:15:47 +0800 http://ir-heater-now.com/id/posts/fab-plant-heating-solution/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Solusi pemanasan pabrik Fab"></p> <p>Di lantai fab, drift suhu tidak muncul dengan lampu peringatan. Drift muncul sebagai CD yang <a href="https://o-yate.net">bergeser</a> setelah soft bake, sebagai footing pada profil setelah hard bake, dan sebagai scrap yang baru terlihat setelah lot sudah melewati tahap pembakaran photoresist dan waktu proses. Kontrol termal level wafer bukan sekadar fitur tambahan. Ini adalah bagian dari anggaran proses.</p> <p><strong>Yang penting secara teknis</strong><br> Kami membangun pemanas pabrik menggunakan modul NIR dan inframerah gelombang menengah yang dirancang khusus untuk disiplin termal semikonduktor. Targetnya adalah uniformitas wafer-level ±0,1°C—di seluruh chuck dan melalui tumpukan photoresist. Sistem ini dijalankan di cleanroom kelas 1–100, dan kami telah mengonfirmasi tidak adanya partikel yang dihasilkan melalui pemantauan in-situ dan pemeriksaan cacat di downstream.</p>