http://ir-heater-now.com/id/tags/pelapis/ Recent content in Pelapis on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo id Mon, 01 Jun 2026 17:44:35 +0800 http://ir-heater-now.com/id/posts/coater-developer-infrared-heater/ Mon, 01 Jun 2026 17:44:35 +0800 http://ir-heater-now.com/id/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Pemanas inframerah pengembang pelapis"></p> <p>Di lantai litografi, pergeseran 1°C pada soft bake akan menggeser bias dimensi kritis Anda. Anda akan melihatnya sebagai variasi lebar garis di seluruh wafer—dan itulah cara Anda membuang berjam-jam pekerjaan proses.</p> <p>Pemanas IR pada coater/developer adalah pusat termal pemrosesan photoresist: soft bake, hard bake, dan pengeringan. Jika keseragaman termal terganggu, hasil produksi akan menurun.</p> <h3 id="apa-yang-penting-secara-teknis">Apa yang penting secara teknis</h3> <p>Kami membangun pemanas inframerah ini dengan sumber gelombang pendek yang merespons cepat, memanaskan melalui ketebalan sehingga suhu stabil dalam hitungan detik, bukan menit. Di seluruh permukaan bake, keseragaman pada tingkat wafer terjaga dalam ±0,1°C, yang mengurangi variasi lokal CD dan ketebalan.</p>