Suku cadang pemanas vakum Leybold

Sat, 27 Jun 2026 01:20:36 +0800

Pada proses pembakaran tersebut, suhu yang dihasilkan naik sebesar 0,2°C, dan fotoresisten pun mulai berperilaku secara berbeda. Keseragaman suhu pada permukaan wafer menurun. Proses perbaikan pun semakin banyak dilakukan. Dalam litografi, stabilitas termal bukanlah hal yang bisa diabaikan—itu merupakan bagian penting dari proses tersebut.

Apa yang penting di baliknya? Kami membuat pemanas vakum Leybold menggunakan elemen inframerah pendek dan struktur termal berbahan kuarsa, sehingga keseragaman suhu pada permukaan wafer dapat dipertahankan pada kisaran ±0,1°C. Badan pemanas tersebut dirancang sedemikian rupa agar tetap tahan terhadap kondisi vakum, dengan flensa yang sesuai dan ujung-ujung kabel yang terlindungi, sehingga gas yang dilepaskan dan partikel-partikel kecil dapat dikendalikan. Resistansi dan geometri pemanas disesuaikan agar densitas daya tetap stabil pada tegangan yang diharapkan oleh ruang vakum tersebut. Dengan demikian, tingkat repetibilitas suhu tetap berada dalam rentang yang ditentukan oleh fotoresisten canggih.

Cadangan on Immediate Infrared Heating Solutions

Suku cadang pemanas vakum Leybold