लिथोग्राफी प्रक्रिया में, सॉफ्ट बेक प्रक्रिया में आधे डिग्री का भी अंतर, महत्वपूर्ण आयामों के नियंत्रण को बिगाड़ सकता है। फोटोरेसिस्ट से विलायकों का...

फोटोरेजिस्ट बेकिंग के दौरान, वेफर पर 0.2°C का तापमान-परिवर्तन आपके उत्पादन की गुणवत्ता को नुकसान पहुँचा सकता है। RTP में, वह लैंप केवल ऊष्मा-स्रोत ही...