कोटर डेवलपर इन्फ्रारेड हीटर

Mon, 01 Jun 2026 17:44:36 +0800

लिथोग्राफी फ्लोर पर, सॉफ्ट बेक में 1°C की ड्रिफ्ट आपके क्रिटिकल डाइमेंशन बायस को प्रभावित करेगी। यह आपको वेफर पर लाइनविड्थ में बदलाव के रूप में दिखेगा—और इसी कारण आप कई घंटे के प्रोसेस वर्क को खराब कर देते हैं।
कोटर/डेवलपर IR हीटर फोटोरेसिस्ट प्रोसेसिंग का थर्मल हृदय है: सॉफ्ट बेक, हार्ड बेक, और ड्राइंग। यदि थर्मल यूनिफॉर्मिटी सही नहीं रही, तो यील्ड प्रभावित होती है।

तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें

हम ये इन्फ्रारेड हीटर शॉर्ट-वेव सोर्सेस के इर्द-गिर्द बनाते हैं जो तेज़ी से प्रतिक्रिया करते हैं, जो थिकनेस के माध्यम से हीटिंग करते हैं ताकि तापमान सेकंडों में स्थिर हो जाए, मिनटों में नहीं। बेक सतह पर, वेफर-स्तरीय समानता ±0.1°C के भीतर बनी रहती है, जो स्थानीय CD और मोटाई में उतार-चढ़ाव को कम करती है।
पैकेज क्लीनरूम-तैयार है, क्लास 1 से क्लास 100 तक। कम आउटगैसिंग मटेरियल और पार्टिकल-कंट्रोल्ड पाथ प्रोसेस चेंबर में संदूषण को रोकते हैं। शून्य पार्टिकल जनरेशन कोई नारा नहीं है—यह डिजाइन प्रतिबंध है जिसे सतह फिनिश, सीलिंग, और एयरफ्लो रूटिंग द्वारा लागू किया जाता है।

डेवलपर on Immediate Infrared Heating Solutions

कोटर डेवलपर इन्फ्रारेड हीटर

तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें