लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” केवल “तापीय चरण” ही नहीं हैं… बल्कि ये ही वे कारक हैं जो पैटर्न की सटीकता एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता के बीच अंतर बनाते हैं। फोटोरेसिस्ट बहुत ही संवेदनशील होता है… तापमान में होने वाली थोड़ी सी भी वृद्धि से उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज आवरण में शॉर्ट-वेव हैलोजन लैंपों का उपयोग करते हैं… ऐसी प्रक्रिया से तेज़ एवं सूखी गर्मी प्राप्त होती है, एवं कणों का उत्पादन भी कम होता है। महत्वपूर्ण मापदंड तो वेफर पर तापमान की एकरूपता है… ±0.1°C। पुनरावृत्ति की दर भी इसी स्तर पर रखी जाती है, ताकि हर बार एक ही परिणाम प्राप्त हो।
यह सिस्टम “क्लीनरूम” वातावरण के लिए ही डिज़ाइन किया गया है… क्लास 1 से 100 के वातावरण में, बिना किसी कण उत्पादन के… यह सिस्टम 24/7 कार्य कर सकता है… एवं हम 5,000+ घंटों तक इसकी स्थिरता की जाँच करते रहते हैं। ऊर्जा की खपत भी नियंत्रित रखी जाती है… ताकि तापीय संतुलन बना रहे।
फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया में यह सिस्टम क्यों कारगर है?
ऐसी प्रक्रिया से विलायक निकल जाता है… लेकिन फोटोरेसिस्ट में कोई तनाव नहीं पैदा होता। ऐसी प्रक्रिया से पैटर्न की गुणवत्ता में सुधार होता है… एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
इस सिस्टम का उपयोग करने पर क्या होगा?
लैंप आसानी से इंटीग्रेट हो जाता है… लेकिन थर्मल इंटरफेस को आपके कोटर/ट्रैक चैंबर के अनुरूप ही होना चाहिए। गैस प्रवाह, माउंटिंग टॉलरेंस, एवं थर्मल मास भी महत्वपूर्ण हैं। कॉमिशनिंग प्रक्रिया भी आसान है… बस PID को चैंबर की गतिशीलता के अनुरूप समायोजित करना ही पर्याप्त है।
एक बार सब कुछ सही हो जाने के बाद, न्यूनतम रखरखाव के साथ ही सिस्टम लगातार कार्य करता रहता है… लेकिन लैंप की आयु सीमित है… इसलिए पहले से ही इसके बदलने की योजना बना लेनी आवश्यक है।