http://ir-heater-now.com/he/tags/resist/ Recent content in Resist on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo he Tue, 09 Jun 2026 00:57:34 +0800 http://ir-heater-now.com/he/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Tue, 09 Jun 2026 00:57:34 +0800 http://ir-heater-now.com/he/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מחמם לאפיית רכיב התנגדות בקרן אלקטרונים"></p> <h1 id="רצפת-הליתוגרפיה-אפיית-עמידות-האי-בימ-לא-נחשבת-לחימום-מקדים-זו-נקודת-הבקרה-לבקרת-רוחב-קווים-סטייה-של-03c-עלולה-להדפיס-דופן-מדרדרת-נקודה-קרה-עלולה-להשאיר-שכבת-סרט-מאחור-שתתבטא-מאוחר-יותר-כנפילת-הפיתוח-בנינו-את-מחמם-האפייה-של-עמידות-האי-בימ-להתמודד-עם-המציאות-הזו--לשמור-על-טמפרטורה-במקום-שבו-התהליך-דורש-לא-במקום-שהמחמם-מחליט-להתייצב-בו">רצפת הליתוגרפיה, אפיית עמידות האי-בימ לא נחשבת לחימום מקדים. זו נקודת הבקרה לבקרת רוחב קווים. סטייה של 0.3°C עלולה להדפיס דופן מדרדרת. נקודה קרה עלולה להשאיר שכבת סרט מאחור, שתתבטא מאוחר יותר כנפילת הפיתוח. בנינו את מחמם האפייה של עמידות האי-בימ להתמודד עם המציאות הזו — לשמור על טמפרטורה במקום שבו התהליך דורש, לא במקום שהמחמם מחליט להתייצב בו.</h1> <p>מה שחשוב, מבחינה טכנית.<br> אנחנו מפעילים אלמנטים אינפרא-אדומים בגלים קצרים דרך מסלול תרמי מבוסס קוורץ, כך שהחום מועבר במהירות ובניקיון. לאורך המשטח, אחידות הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, ויציבות נקודת הקבע נשמרת מתחת ל-±0.05°C ברגע שמגיעים לאפייה יציבה. המערכת מגיעה לטמפרטורת האפייה בתוך שניות, כך שניתן לקצר זמני המתנה בין הסבבים מבלי לחרוג מתקציב החום של הפוטורזיסט.</p>