עתיד טכנולוגיית החימום למוליכים למחצה

בקו הייצור, סטייה תרמית נמדדת בשברים של דרגה. סטייה של 0.5°C במהלך אפיית הפוטורזיסט יכולה להזיז ממדים קריטיים, ואזור חם שאינו מדוד היטב מזמין חלקיקים...