http://ir-heater-now.com/he/tags/%D7%94%D7%9C%D7%95%D7%92%D7%9F/ Recent content in הלוגן on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo he Fri, 03 Jul 2026 03:01:41 +0800 http://ir-heater-now.com/he/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ Fri, 03 Jul 2026 03:01:41 +0800 http://ir-heater-now.com/he/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="שולח אינפרא אדום מסוג קוורץ הלוגן"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בהגדרות ה-Soft Bake יכול לגרום לחוסר דיוק בשליטה על הממדים החשובים. עקב זאת, תהליך ההסרה של החומרים המסיסים מהפוטורזיסט אינו אחיד, ואז ה-Hard Bake רק מחזק את השגיאה הזו. אחידות תרמית ברחבי הוואף אינה יתרון – זו דרישה בסיסית של התהליך.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> גופי פליטה אינפראאדום מסוג קוורץ מאפשרים העברת חום למקום הנכון, במהירות, עם שליטה מדויקת בספקטרום האור. קרינת הגלים הקצרים שלהם מאפשרת ספיגה טובה של החום בפוטורזיסט, כך שמחזורי החימום קצרים ויעילים. אנו שומרים על אחידות של ±0.1°C ברחבי הוואף, באמצעות שליטה בלולאה סגורה; זמן התגובה נמדד במילישניות.</p> http://ir-heater-now.com/he/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Sat, 20 Jun 2026 01:57:12 +0800 http://ir-heater-now.com/he/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="נורת הלוגן למערכת RTP"></p> <p>בחדר הייצור, שינוי של 0.2°C בטמפרטורה של הוופר במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט עלול לפגוע באיכות המוצר. במערכות RTP, הנורה אינה רק מקור חום – היא גם קובעת את רמת האחידות התרמית ואת האמינות של התהליך. אנו מייצרים נורות הלוגן למערכות RTP, עם שליטה מדויקת בספקטרום האור ותגובה מהירה. גאומטריית הפילמנט, המעטפת הקוורץ ומסלול החזרת האור – כל אלו מותאמים כדי ליצור אזור חם יציב, שבו האחידות בטמפרטורה של הוופר נשארת בטווח של ±0.1°C. הטמפרטורה נשארת יציבה לאורך אלפי מחזורים, כך שהטמפרטורה הקריטית לא תשתנה מסדרה לסדרה. המבנה של הנורה מותאם לשימוש בחדרי ניקיון, והוא משתמש בחומרים שאינם פולטים גזים, כדי למנוע זיהום. בתהליך הליתוגרפיה, יש צורך בפרופילי טמפרטורה מדויקים כדי לשמור על הממדים הקריטיים של הוופר. נורותינו מאפשרות חימום מהיר של האזור החם, מקצרות את זמן החימום ומונעות סטיות תרמיות. התוצאה היא ביצועים עקביים של הפוטורזיסט מסדרה לסדרה, פחות צורך בתיקונים, ושליטה מדויקת בממדים של הוופר. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהנורה מחממת את הוופר רק כשצריך, עם אובדן אנרגיה מינימלי. הנורות מיועדות לפעולה 24/7 – כך שאין צורך בהפסקות לא מתוכננות. האמת היא שנורות הלוגן מגיבות מהר, אך יש צורך באספקת אנרגיה יציבה ובקירור נאות כדי לשמור על הטמפרטורה בטווח של ±0.1°C. יש להתאים את הנורה לגאומטריה של החדר, ולוודא שהיא תואמת את הבקר של מערכת RTP. חיי הפילמנט מוגבלים, לכן יש לתכנן את זמני ההחלפה בהתאם לנפח הייצור. יש להתייחס לנורה כאל רכיב מדויק, ולא כאל חומר שניתן להחליף בקלות – כך התהליך התרמי יישאר תחת שליטה.</p>