בחדר הייצור, שלבי האפייה הם אלו בהם נקבע התקן התרמי לשליטה בעובי הקווים. שינוי של 2°C בטמפרטורת האפייה עלול לגרום לשינוי בערך CD, וכתוצאה מכך להיווצרות פגמים בחומר. יצרנו חימם מבוסס ננו-צינורות פחמן כדי להפחית את השינויים האלו.
מה חשוב מבחינה טכנית? ברחבי המכשיר, יש אחידות תרמית ברמת הוופר בטווח של ±0.1°C, עם יכולת חזרה על אותו ערך בטווח של ±0.2°C. רכיב הננו-צינורות הפחמן מגיב במהירות ונשאר יציב, והעיצוב ללא קוורץ מפחית את היווצרות החלקיקים. המכשיר יכול לפעול בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, ללא פליטת גזים לתוך חדר הייצור, וללא נקודות חם שעלולות לפגוע בחומר. שליטה בקצב החימום מבטיחה שהטמפרטורה תהיה תואמת לתכונות החומר, ולא תהיה עלייה חדה בטמפרטורה.
למה זה עובד בליתוגרפיה? בליתוגרפיה, יציבות הטמפרטורה במהלך האפייה משפיעה על הסרת הממסים ועל מתח הקרום. יציבות הטמפרטורה במהלך האפייה החזקה משפיעה על האחיזה של החומר ועל עמידותו בפני חיתוך. באמצעות חימם זה, השינויים בערך CD פוחתים, כמו גם הצורך בעבודות תיקון. המכשיר יכול לפעול 24/7, עם מרווחי תחזוקה צפויים, כך שהזמן הבלתי מתוכנן להפסקת הפעולה יורד. גם צריכת האנרגיה נמוכה יותר, מכיוון שהחימם מחמם ביעילות ושומר על הטמפרטורה ללא צורך בחימום חוזר.
הפרטים החשובים החימם דורש מקור חשמלי ייעודי עם סינון, וכן חיבור תרמי טוב למכשיר – חיבורים לא מתאימים עלולים לפגוע באחידות הטמפרטורה. יש לבצע ניסויים קצרים כדי להתאים את קצב החימום לחומר הספציפי. לאחר שהכל מותאם, התהליך יהיה יציב, והטמפרטורה תישאר אחידה מלוט ללוט.