Vide on Immediate Infrared Heating Solutions

Chauffage infrarouge pour chambre à vide

Sun, 19 Jul 2026 08:38:09 +0800

Intégrer la technologie infrarouge dans votre usine intelligente
Si vous êtes en train de créer une usine de type Industry 4.0, vous avez probablement réalisé que les anciennes méthodes de chauffage ne suffisent plus. Il vous faut quelque chose qui puisse communiquer directement avec vos données.

Dans une chambre sous vide, on ne peut pas compter sur l’air pour transférer la chaleur. C’est pourquoi nous utilisons des systèmes à rayonnement infrarouge. C’est plus simple : la chaleur passe directement de la source au substrat, sans aucun intermédiaire.

Pièce de rechange pour chauffage à vide Leybold

Sat, 27 Jun 2026 01:20:36 +0800

Sur la ligne de production, le profil de chauffage doux varie de 0,2 °C, ce qui fait que le photorésistant commence à se comporter différemment. L’uniformité du CD s’altère. Les réparations deviennent de plus en plus fréquentes. En lithographie, la stabilité thermique n’est pas une option : c’est une condition indispensable pour le bon fonctionnement du processus.

Ce qui est vraiment important Nous conçons le chauffage à vide Leybold en utilisant des éléments infrarouges à courte longueur d’onde et un système thermique basé sur du quartz, permettant ainsi d’assurer une uniformité de température de ±0,1 °C sur toute la surface de chauffe. Le corps du chauffage est fabriqué de manière à garantir l’intégrité du vide, avec des brides adaptées et des terminaisons isolées pour limiter les émissions de gaz et la formation de particules. Nous ajustons la résistance et la géométrie du chauffage afin que la densité de puissance reste stable, même à la tension prévue par la chambre. De plus, la répétabilité de la température reste dans les limites autorisées par les caractéristiques du photorésistant avancé.

Élément chauffant de four sous vide

Fri, 05 Jun 2026 01:17:51 +0800

Sur le plancher de fabrication, le processus de cuisson du photoresist n’est pas simplement une étape de chauffage, c’est un contrôle dimensionnel. Des températures de cuisson douce et dure qui dérivent même d’une fraction de degré déplaceront des dimensions critiques, modifieront la réflectivité et réduiront le rendement sur le lot. Les fours sous vide aggravent la situation : vous déplacez la chaleur à travers un environnement à basse pression, et il n’y a nulle part où se cacher des points chauds ou des zones froides.