Chauffage pour la fabrication de nanotubes de carbone

Fri, 26 Jun 2026 01:20:19 +0800

Sur le site de fabrication, c’est pendant les étapes de cuisson que le budget thermique nécessaire pour contrôler l’épaisseur des lignes est déterminé. Une variation de 2 °C pendant la cuisson douce ou sévère peut provoquer des écarts dans la précision du positionnement des lignes, ce qui entraîne des problèmes de qualité. Nous avons donc conçu un chauffage à base de nanotubes de carbone afin d’éliminer cette variabilité.

Ce qui est important sur le plan technique On obtient une uniformité thermique au niveau de la wafer de ±0,1 °C, avec une répétabilité du point de consigne de ±0,2 °C. L’élément à base de nanotubes de carbone répond rapidement et reste stable. De plus, sa conception sans quartz permet de réduire la génération de particules. Ce dispositif fonctionne dans des salles propres de classe 1–100 ; il n’y a pas de gaspillage d’énergie dans la chambre de traitement, ni de points chauds qui pourraient endommager le revêtement utilisé. Le contrôle de la montée en température permet d’ajuster le profil thermique en fonction des propriétés chimiques du revêtement, plutôt que de se fier simplement aux capacités du chauffage.

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