Emballage de capteur intelligent infrarouge

Tue, 30 Jun 2026 01:30:31 +0800

Dans les usines de fabrication de capteurs intelligents, les lignes d’emballage ne peuvent pas tolérer de variations thermiques. Un seul traitement thermique qui ne respecte pas les spécifications, ou un point chaud lors du traitement thermique, suffit pour que le taux de réussite de la production diminue, même avant que la lithographie ne soit terminée. Nous avons donc développé une plateforme thermique infrarouge pour éliminer ces variations.

Ce qui est important en réalité Nous utilisons des émetteurs IR ajustés sur la longueur d’onde d’absorption du photo-résiste, ce qui permet une distribution rapide et sans contact de la chaleur. Dans toute la zone de traitement thermique, l’uniformité à niveau de wafer reste à ±0,1 °C. La répétabilité est assurée grâce à une pyrométrie en boucle fermée directement au niveau du substrat. Le corps du chauffage est en quartz et en céramique de haute pureté, ce qui évite la formation de particules en état stationnaire. Ce système fonctionne dans des salles propres de classe 1–100 sans augmenter le nombre de particules présentes. Le profil thermique reste constant d’une série à l’autre. La densité d’énergie est gérée de manière à respecter les exigences thermiques des films minces. Le temps de réponse est suffisamment rapide pour maintenir un rythme de production optimal, sans avoir à attendre que la température se stabilise.

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