Pièce de rechange pour chauffage à vide Leybold

Sat, 27 Jun 2026 01:20:36 +0800

Sur la ligne de production, le profil de chauffage doux varie de 0,2 °C, ce qui fait que le photorésistant commence à se comporter différemment. L’uniformité du CD s’altère. Les réparations deviennent de plus en plus fréquentes. En lithographie, la stabilité thermique n’est pas une option : c’est une condition indispensable pour le bon fonctionnement du processus.

Ce qui est vraiment important Nous conçons le chauffage à vide Leybold en utilisant des éléments infrarouges à courte longueur d’onde et un système thermique basé sur du quartz, permettant ainsi d’assurer une uniformité de température de ±0,1 °C sur toute la surface de chauffe. Le corps du chauffage est fabriqué de manière à garantir l’intégrité du vide, avec des brides adaptées et des terminaisons isolées pour limiter les émissions de gaz et la formation de particules. Nous ajustons la résistance et la géométrie du chauffage afin que la densité de puissance reste stable, même à la tension prévue par la chambre. De plus, la répétabilité de la température reste dans les limites autorisées par les caractéristiques du photorésistant avancé.

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Pièce de rechange pour chauffage à vide Leybold