Développeur de coucheur chauffage infrarouge

Mon, 01 Jun 2026 17:44:35 +0800

Sur la ligne de lithographie, une dérive de 1°C lors du soft bake déplacera votre biais de dimension critique. Vous l’observerez sous forme de variation de largeur de ligne sur la plaquette — c’est ainsi que vous perdez des heures de travail process.

Le chauffe-infrarouge du coater/developer est le cœur thermique du traitement du photoresist : soft bake, hard bake et séchage. Si l’uniformité thermique dévie, le rendement en pâtit.

Ce qui compte, techniquement

Nous concevons ces chauffages infrarouges autour de sources à ondes courtes qui répondent rapidement, chauffant en traversant l’épaisseur pour que la température se stabilise en quelques secondes, pas en minutes. Sur la surface de bake, l’uniformité au niveau plaquette reste dans ±0,1°C, ce qui réduit les écarts locaux de CD et d’épaisseur.
Le module est compatible salle blanche de Classe 1 à Classe 100. Des matériaux à faible dégazage et un chemin contrôlé pour les particules évitent toute contamination dans la chambre process. L’absence totale de génération de particules n’est pas un slogan — c’est une contrainte de conception respectée par la finition de surface, l’étanchéité et le circuit d’air.

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Développeur de coucheur chauffage infrarouge

Ce qui compte, techniquement