Amplificateur infrarouge avec réflecteur en or

Sun, 19 Jul 2026 08:43:45 +0800

Comment obtenir la température idéale dans les usines de semi-conducteurs
Si vous avez déjà travaillé avec des wafer, vous connaissez bien le problème posé par les déformations ou les contaminations. En général, cela vient d’un seul facteur : le contrôle de la température.
Pour y remédier, nous utilisons des ampoules infrarouges associées à des réflecteurs en or. L’objectif est simple : diriger la chaleur exactement là où elle est nécessaire, tout en évitant de gaspiller de l’énergie à chauffer le reste de la chambre.

Ampleur du faisceau chauffeuse infrarouge à réponse rapide

Fri, 19 Jun 2026 02:09:03 +0800

Sur le site de fabrication, la dérive thermique pendant le séchage des wafers n’est pas seulement un problème de performance. Elle provoque des variations dans les dimensions critiques des wafers et laisse des résidus qui entraînent une perte de rendement. Nous avons conçu des chauffeurs infrarouges à réponse rapide pour éliminer cette dérive dès sa source.

Ce qui est important sur le plan technique : Nous utilisons des éléments halogènes infrarouges à ondes courtes, placés dans des enveloppes en quartz. Cela permet d’obtenir une haute densité de rayonnement, avec une réponse en moins de une seconde. Dans la zone active, l’uniformité de la température du wafer reste constante, entre ±0,1°C. La répétabilité de la température cible reste également dans les limites de ±0,5°C après un temps de chauffe. La puissance de sortie reste stable, du démarrage au fonctionnement normal – sans aucune dérive due à des points chauds qui pourraient perturber le flux du photorésiste. Ces chauffeurs sont conçus pour être utilisés dans des salles propres de classe 1–100. Leur géométrie et leurs matériaux permettent de minimiser la génération de particules. On peut donc compter sur plus de 5 000 heures de fonctionnement, avec moins de 5% de dégradation de la puissance de sortie, même en mode 24/7.

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Amplificateur infrarouge avec réflecteur en or

Ampleur du faisceau chauffeuse infrarouge à réponse rapide