فرستنده مادون قرمز هالوژنی کوارتز
در فرآیند لیتوگرافی، حتی تغییر نیم درجهای در پارامترهای مربوط به فرآیند «Soft Bake» نیز میتواند باعث اختلال در کنترل ابعاد مهم شود. حذف حلالها از...
لامپ هالوژنی برای سیستم RTP
در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۰.۲ درجه سانتیگراد در طول فرآیند گرم کردن ویفر، میتواند به طور ناخودآگاه باعث کاهش دقت و کیفیت محصول شود. در...