http://ir-heater-now.com/fa/tags/%D9%84%DB%8C%D8%A8%D9%88%D9%84%D8%AF/ Recent content in لیبولد on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo fa Sat, 27 Jun 2026 01:20:36 +0800 http://ir-heater-now.com/fa/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ Sat, 27 Jun 2026 01:20:36 +0800 http://ir-heater-now.com/fa/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="قطعه یدکی هیتر خلأ لایبولد"></p> <p>در این فرآیند، پارامترهای مربوط به حرارت‌دهی، ۰.۲ درجه سانتی‌گراد تغییر می‌کند؛ در نتیجه، رفتار فوتورزیست نیز تغییر می‌کند. یکنواختی سطح ویفر نیز کاهش می‌یابد. کارهای تعمیراتی نیز افزایش می‌یابد. در فرآیند لیتوگرافی، پایداری حرارتی یک مزیت نیست، بلکه خود بخشی از فرآیند است.</p> <p><strong>چه چیزهایی اهمیت دارند؟</strong><br> ما هیترهای واکوم در <a href="https://o-yate.com">Leybold</a> را با استفاده از عناصر مادون قرمز کوتاه‌امواج و ساختارهای حرارتی مبتنی بر کوارتز ساخته‌ایم؛ این ساختارها باعث می‌شوند که یکنواختی سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ شود. بدنه هیتر نیز به گونه‌ای طراحی شده که از نشت گازها و تولید ذرات جلوگیری کند. ما مقاومت و شکل هیتر را به گونه‌ای تنظیم کرده‌ایم که تراکم انرژی در محدوده مورد نیاز کامره حفظ شود؛ همچنین، تکرارپذیری دما نیز در محدوده مشخصی باقی بماند.</p>