خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS بدون مشکلات
خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS کاری پیچیده است؛ لازم است که مایعات موجود روی سطح ویفر به سرعت از بین بروند. اما اگر مراقب نباشیم، ممکن است لکههای آبی روی سطح ویفر باقی بماند؛ یا حتی فشار مکانیکی باعث خراب شدن کل محموله شود.
به همین دلیل، از گرمایشکنندههای مادون قرمز استفاده میکنیم؛ این گرمایشکنندهها، به جای گرم کردن هوا، مستقیماً سطح ویفر را گرم میکنند. این کار باعث میشود که رطوبت از بین برود، قبل از اینکه کشش سطحی باعث شکستن ساختارهای ظریف MEMS شود.
مسئله گرما
ما سعی میکنیم تا توان گرمایشی در هر اینچ خطی بالا باشد؛ چرا؟ چون میخواهیم که ویفر در عرض چند ثانیه به دمای تبخیر برسد، نه چند دقیقه. اگر فرآیند خشک کردن طولانی شود، این کار میتواند باعث آلودگی ویفرها شود.
اما مشکل اینجاست که تراکم گرمای بالا، یک سلاح دولبه است؛ باید مراقب باشیم که چگونه دما را افزایش یا کاهش دهیم. اگر ناگهان دما را تغییر دهیم، غشاهای نازک سنسورها خراب خواهند شد. مهم این است که دما به آرامی تغییر کند.
کوارتز و مشکلات مربوط به ضایعات
برای حفظ پایداری، فیلامنتها را در کوارتز با خلوص بالا قرار میدهیم؛ این تنها راه برای مقابله با نوسانات دمایی است. همچنین، فیلامنتها را نیز پوشش میدهیم؛ این کار باعث میشود انرژی مستقیماً به سطح ویفر برسد، نه فقط دیوارههای محفظه را گرم کند. این کار باعث میشود گرما در جای مناسب خود باقی بماند. علاوه بر این، از کانکتورهای استاندارد استفاده میکنیم؛ بنابراین، هنگام نیاز به تعمیر، میتوانیم آنها را تعویض کنیم و دوباره کار را ادامه دهیم.
هیچ جایی برای اشتباهات وجود ندارد
در اتاقهای پاک، یک جرقه الکتریکی میتواند کل محموله ویفرها را نابود کند. بنابراین، ما هیچ ریسکی را در نظر نمیگیریم. هر گرمایشکنندهای که ارسال میشود، ابتدا از نظر مقاومت الکتریکی و عایقبندی آزمایش میشود. ما آنها را تا حداکثر ولتاژ ممکن تحت فشار قرار میدهیم تا مطمئن شویم که هیچ نشتی وجود ندارد. شکست در عملکرد گرمایشکنندهها، گزینهای نیست.
یک نکته دیگر: مطمئن شوید که منبع تغذیه، امپدانس گرمایشکننده را پوشش دهد؛ در غیر این صورت، یا عملکرد گرمایشکننده ضعیف خواهد بود، یا فیلامنتها خیلی سریع خراب خواهند شد.